circuiti integrati sono il cervello di quasi tutti i dispositivi moderni , dal telefono cellulare al computer portatile alla stazione spaziale. Un circuito integrato , la dimensione di un francobollo , può contenere più di un miliardo di transistor . Questa estrema miniaturizzazione richiede uniformità di temperatura di tutti i wafer di silicio su cui sono costruiti i circuiti . Conducibilità termica ( rappresentate come "k" ) è una misura di quanto facilmente un materiale conduce calore . È un parametro critico nel determinare e progettare per uniformità di temperatura . Fatti

conducibilità termica è una delle tante proprietà termiche del silicio materiale . Altre caratteristiche comprendono il calore specifico ( 0.70 Joule per grammo grado Kelvin ), che aiuta a determinare la potenza necessaria per aumentare la temperatura del wafer , punto di ebollizione ( 2.628 gradi Kelvin ) , punto di fusione ( 1.683 K ) , la temperatura critica ( 5.159 K ) , diffusività termica ( 0,9 cm2 per secondo) , dilatazione termica lineare o coefficiente di espansione termica ( 2,6 • 10-6 C - 1 ) , la temperatura di Debye ( 640 K ) e altri.
Valori
con

termici variazione di conducibilità al variare della temperatura . " È necessario mantenere la temperatura di esercizio necessaria a mente quando si utilizza la conduttività termica per determinare la distribuzione della temperatura in tutto il wafer ", avverte Michael Klebig , una Silicon Valley sales engineer specializzata nella applicazione di calore in lavorazione di wafer di semiconduttori . " La conducibilità termica sbagliato significa che non sarà raggiungere l' uniformità di temperatura è necessario e le prestazioni dei dispositivi sarà compromessa . Se è abbastanza male, non sarà in grado di passare alla fase successiva della sequenza di lavorazione dei semiconduttori . L' wafer sarà inutile ".

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